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    序號(hào) 
   
   
    特征 
   
   
    6吋參數(shù) 
   
   
    5吋參數(shù) 
   
  
        
  
        
   
    1
   
   
    外延層摻雜劑
   
   
    N,N+:Antimony,Arsine,phosphorus
   
   
    N,N+:phosphorus,Arsine
        
           		
  
        
  
        
   
    2
        
           		
   
    外延層晶向
   
   
    <100>,<111>
        
           		
   
    <100>,<111>
        
           		
  
        
  
        
   
    3
        
           		
   
    外延層電阻率
   
   
    0.5～120Ω?cm
   
   
    0.5～120Ω?cm
        
           		
  
        
  
        
   
    4
   
   
    外延層電阻率中心值偏差
   
   
    ≤±2%
   
   
    ≤±2%
        
           		
  
        
  
        
   
    5
   
   
    外延層電阻率均勻性
   
   
    ≤±3%
        
           		
   
    ≤±3%
   
  
        
  
        
   
    6
   
   
    外延層厚度
   
   
    3～150μm
   
   
    3-150μm
   
  
        
  
        
   
    7
   
   
    外延層厚度中心層偏差
   
   
    ≤±1%
   
   
    ≤±1%
   
  
        
  
        
   
    8
        
           		
   
    外延層厚度均勻性
   
   
    ≤±3%
   
   
    ≤±3%
   
  
        
  
        
   
    9
        
           		
   
    翹曲度/彎度
   
   
    -60～60
   
   
    -50～50
   
  
        
  
        
   
    10
        
           		
   
    總厚度變化
   
   
    ≤18
   
   
    ≤10
   
  
        
  
        
   
    11
   
   
    堆垛層錯(cuò)
   
   
    ≤5/cm2 
   
   
    ≤5/cm2 
   
  
        
  
        
   
    12
   
   
    滑移線
   
   
    ＜5條，同時(shí)總長(zhǎng)度≤硅片直徑的1/2
   
   
    ＜5條，同時(shí)總長(zhǎng)度≤硅片直徑的1/2
        
           		
  
        
  
        
   
    13
   
   
    霧
   
   
    NONE
   
   
    NONE
   
  
        
  
        
   
    14
        
           		
   
    劃傷
   
   
    NONE
        
           		
   
    NONE
        
           		
  
        
  
        
   
    15
        
           		
   
    凹坑、桔皮、裂紋、鴉爪
   
   
    NONE
        
           		
   
    NONE
        
           		
  
        
  
        
   
    16
   
   
    崩邊
   
   
    NONE
        
           		
   
    NONE
        
           		
  
        
  
        
   
    17
   
   
    異物
   
   
    NONE
        
           		
   
    NONE
        
           		
  
        
  
        
   
    18
   
   
    背面沾污
   
   
    NONE
        
           		
   
    NONE
        
           		
  
        
  
        
   
    19
   
   
    點(diǎn)缺陷
   
   
    NONE
        
           		
   
    NONE
        
           		
  
        
         

            
        

        


        
	
        
    	
          
        	
        • 電話(huà):13705597336
          電話(huà):13956270581
          • 
            
            
        • 黃山芯微電子股份有限公司
          地址：安徽省黃山市祁門(mén)縣新興路449號(hào)
          • 
        
        
    
        

        



        
  


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